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J-GLOBAL ID：201402264000376409   整理番号：14A0536722

硬X線用部分回転楕円面集光ミラーのための表面加工プロセスの開発

著者 (8件)： 湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  湯本博勝 (理研) ,  小山貴久 (高輝度光科学研究セ) ,  小山貴久 (理研) ,  松山智至 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  大橋治彦 (高輝度光科学研究セ) ,  大橋治彦 (理研)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2014  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.R44  発行年： 2014年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究グループでは,1枚のミラーにより2次元集光が可能な部分回転楕円面ミラーによる硬X線ナノ集光を目的とし,本ミラーのための表面加工プロセスの開発を進めている。硬X線ナノ集光ミラーの表面には,1nm単位の形状の制御と同時に,0.1nmオーダーの表面粗さが要求される。このような精度を達成するため,高精度研削,表面粗さ除去,数値制御形状修正の三段階の加工による最終表面形状の形成プロセスを検討した。(著者抄録)

シソーラス用語： 硬X線 ,  *光学素子 ,  反射鏡 ,  *非球面鏡 ,  *集光 ,  表面粗さ ,  *精密研削 ,  放射光施設 ,  SPring-8

分類 (1件)： その他の光学機器  (QF05060C)

タイトルに関連する用語 (7件)： 硬X線 ,  楕円面 ,  集光 ,  ミラー ,  表面加工 ,  プロセス ,  開発