特許

J-GLOBAL ID：201403020096047360

蒸着用シート、蒸着装置、及び蒸着用シートの製造方法

発明者： 福田 和浩 ,  硯里 善幸 ,  高橋 伸明
出願人/特許権者： コニカミノルタ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人光陽国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012055642
公開番号（公開出願番号）：WO2012-121238
出願日： 2012年03月06日
公開日（公表日）： 2012年09月13日
要約：

真空容器1内で基板K上に薄膜を蒸着形成する蒸着装置10に使用される蒸着用シートSであって、シート基材S1上に、蒸気圧の異なる2種類以上の蒸発材料が混合された塗布層S2を備えて構成される。これにより、蒸気圧の異なる2種以上の蒸着材料を材料の劣化無く長時間均一に安定して蒸着することができる。

請求項（抜粋）：

真空容器内で基板上に薄膜を蒸着形成する蒸着装置に使用される蒸着用シートであって、 シート基材上に、蒸気圧の異なる2種類以上の蒸発材料が混合された塗布層を備えて構成されることを特徴とする蒸着用シート。

IPC (4件)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/12 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10

FI (4件)：

C23C14/24 E ,  C23C14/12 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10

Fターム (16件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107DD53 ,  3K107GG04 ,  3K107GG32 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BD01 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB07 ,  4K029DB18 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03