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J-GLOBAL ID：201802290725581456   整理番号：18A1415217

プラズマCVMによる水晶ウエハの加工に関する研究-エタノール添加によるCF₄含有大気圧Arプラズマの安定化-

著者 (8件)： 孫栄硯 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  有馬健太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科) ,  渡辺啓一郎 (京セラ) ,  宮崎史朗 (京セラ) ,  深野徹 (京セラ) ,  北田勝信 (京セラ)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2018  ページ： 68-69  発行年： 2018年06月29日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 水晶ウエハの厚さを均一化するため,キャリアガスとしてHeを用いた大気圧プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)は,高性能水晶振動子を量産する工程の一部として実用化されている。しかしながら,Heは高コストで,供給不足の不安があるため,Arに代替することが望まれている。大気圧下で発生させた容量結合型のArプラズマはアーク放電に移行しやすいが,少量のエタノールを添加することにより,安定なグロー放電Arプラズマを発生できることが報告されている。本報では,キャリアガスとしてエタノールを添加したArガスを用い,プロセスガスとしてCF₄とO₂を用いて水晶ウエハのプラズマCVM実験を行った。エッチング系のプロセスガスを含有する場合においても安定なArグロー放電大気圧プラズマを発生させるとともに,酸素の添加は水晶ウエハ上への炭素系物質の堆積を抑制できることがわかった。(著者抄録)

シソーラス用語： *超精密加工 ,  *石英 ,  脂肪族フッ素化合物 ,  プラズマ ,  アルゴン ,  *ウエハ【IC】 ,  *プラズマCVM ,  水晶
準シソーラス用語： フッ化炭素

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (9件)： プラズマCVM ,  水晶 ,  ウエハ ,  研究 ,  エタノール ,  大気圧 ,  Ar ,  プラズマ ,  安定化