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J-GLOBAL ID：201902256366777694   整理番号：19A2712898

プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究(第3報)-反応焼結SiC材の加工における反応生成堆積物の影響-

著者 (5件)： 孫栄硯 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  有馬健太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科) ,  大久保雄司 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2019  ページ： 56-57  発行年： 2019年06月28日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,SiCとSiの2成分が含まれる反応焼結SiC材に対する形状創成法としてプラズマCVMの適用を検討している.第1報では,成分毎のエッチングレートの違いにより表面粗さが悪化することを抑制できる反応ガス組成を見出した.本報では,得られた最適ガス組成を用いて,局所プラズマの滞在時間制御により反応焼結SiC材に対して非球面形状を創成し,加工精度を評価した結果を報告する.(著者抄録)

シソーラス用語： 光干渉法 ,  *超精密加工 ,  *炭化ケイ素 ,  エッチング ,  表面粗さ ,  滞留時間 ,  アルゴン ,  マイクロ波 ,  反応焼結 ,  *反応生成物 ,  プラズマCVM ,  白色干渉法 ,  非球面 ,  加工精度
準シソーラス用語： 工作精度

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマCVM ,  高精度加工 ,  研究 ,  反応焼結 ,  SiC ,  堆積物