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J-GLOBAL ID：201902266342404165   整理番号：19A0294391

分光計測を用いた窒化ガリウム自立結晶の品質評価

Quality evaluation of freestanding gallium nitride crystals based on the spectroscopic techniques

著者 (2件)： 小島一信 (東北大 多元物質科研) ,  秩父重英 (東北大 多元物質科研)
資料名： Jasco Report  (Jasco Report)
巻： 61  号： 1  ページ： 1-7  発行年： 2019年01月15日 
JST資料番号： L1132A  ISSN： 0916-3492  CODEN： JREPEH  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 窒化ガリウム(GaN)自立結晶とウエハを評価するために,バンド端近傍(NBE)発光の量子効率(QE)を定量化する,全方位フォトルミネセンス(ODPL)分光法の利用を提案する。測定を空気中で行うと,QEは,おそらく光ポンピングによる表面近傍での外因性の非輻射再結合(NR)チャネルの形成により,連続的に減少した可能性が高い。次に,減衰全反射(ATR)分光法を用いて,QE低下の原因を調査した。ATR反射スペクトルは,表面近傍に局在するフォノンと光子の混成モードである表面フォノンポラリトン(SPhP)に起因する,特徴的なディップを示した。SPhPモードは,結晶を光励起すると一時的に消失し,この事実は,外因性のNRチャネルが,結晶表面での光ポンピング支援による酸化還元作用により生成した,揮発性物質の形成を介して生じたことを示唆する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *化合物半導体 ,  *窒化ガリウム ,  単結晶 ,  発光 ,  *量子効率 ,  *光ルミネセンス ,  光ポンピング ,  再結合 ,  全反射 ,  ATR分光法 ,  反射スペクトル ,  表面ポラリトン ,  酸化還元反応 ,  揮発分 ,  半導体素子 ,  点欠陥 ,  効率 ,  エネルギー準位 ,  スペクトロスコピー ,  表面 ,  *品質 ,  バンド端発光 ,  結晶表面 ,  *結晶品質 ,  減衰全反射 ,  *窒化物半導体 ,  発光効率 ,  数値化
準シソーラス用語： パワーデバイス ,  揮発性物質 ,  定量化 ,  内部量子効率 ,  非輻射再結合 ,  表面フォノンポラリトン

分類 (2件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (21件)：

• K. Motoki, T. Okahisa, N. Matsumoto, M. Matsushima, H. Kimura, H. Kasai, K. Takemoto, K. Uematsu, T. Hirano, M. Nakayama, S. Nakahata, M. Ueno, D. Hara, Y. Kumagai, A. Koukitu, and H. Seki, Jpn. J. Appl. Phys. 40, L140 (2001).
• Y. Oshima, T. Eri, M. Shibata, H. Sunakawa, K. Obayashi, T. Ichihashi, and A. Usui, Jpn. J. Appl. Phys. 42, L1 (2003).
• B. Łucznik, B. Pastuszka, I. Grzegory, M. Bo kowski, G. Kamler, E. Litwin-Staszewska, and S. Porowski, J. Cryst. Growth 281, 38 (2005).
• Y. Oshima, T. Yoshida, T. Eri, M. Shibata, and T. Mishima, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 7685 (2006).
• K. Fujito, K. Kiyomi, T Mochizuki, H. Oota, H. Namita, S. Nagao, and I. Fujimura, Phys. Status Solidi A 205, 1056 (2008).

タイトルに関連する用語 (5件)： 分光計測 ,  窒化ガリウム ,  自立 ,  結晶 ,  品質評価