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J-GLOBAL ID：202102210870462694   整理番号：21A2574867

窒化アルミニウムセラミックス材のプラズマ援用研磨に関する研究-異なる粒径のビトリファイドボンドダイヤモンド砥石を用いたAlN基板の研磨特性-

著者 (5件)： 陶通 (大阪大 大学院工学研究科) ,  孫栄硯 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  有馬健太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (ABTEC (CD-ROM))
巻： 2021  ページ： ROMBUNNO.A51  発行年： 2021年08月21日 
JST資料番号： L0894B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,熱伝導率が大きなAlN材が幅広い分野で注目されている。AlNは難加工材料であるが,高品質な表面を高能率に得るためにプラズマ援用研磨法の適用を検討した。本報では,CF4を含むプラズマの照射によるAlN基板表面を改質して,異なる粒径のビトリファイドボンドダイヤモンド砥石を用いて研磨を行った。研磨後の表面粗さと表面形態により,研磨特性に砥粒の粒径の影響を評価した。(著者抄録)

シソーラス用語： *窒化アルミニウム ,  *研磨 ,  粒径 ,  *ダイヤモンド砥石 ,  研削砥石 ,  材料 ,  表面粗さ ,  砥粒 ,  *表面改質 ,  *プラズマ援用研磨法 ,  難加工材料 ,  ビトリファイド研削砥石 ,  *機械工作
準シソーラス用語： ビトリファイド砥石

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (2件)：

• K. Nam, et al., J. Eur. Ceram. Soc. 38 (2018) 1164.
• M. Qin, et al., J. Eur. Ceram. Soc. 39 (2019) 952.

タイトルに関連する用語 (11件)： 窒化アルミニウム ,  セラミックス材 ,  プラズマ ,  援用 ,  研磨 ,  研究 ,  粒径 ,  ビトリファイドボンド ,  ダイヤモンド砥石 ,  AlN ,  研磨特性