文献

J-GLOBAL ID：202102222068647107   整理番号：21A2925241

プラズマ援用研磨法の開発(第22報)-フッ素系ガスを用いたプラズマ援用研磨における砥石成分の付着抑制-

著者 (5件)： 孫栄硯 (大阪大 大学院工学研究科) ,  陶通 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  有馬健太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2021  号： 秋季  ページ： ROMBUNNO.F102  発行年： 2021年09月08日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ドライ研磨法であるプラズマ援用研磨では,基板表面における砥石成分の付着や砥粒の凝集などはスクラッチなどの加工ダメージが形成される主要因となる.高品質な研磨プロセスを実現するため,基板表面への砥石成分の付着を抑制しないといけない.本報では,焼結AlN基板に対してビトリファイド砥石を用いた従来のドライ機械研磨とCF4プラズマを用いたプラズマ援用研磨を行った結果を比較し,プラズマ援用研磨における砥石成分の付着抑制のメカニズムを考察した.(著者抄録)

シソーラス用語： *研磨 ,  プラズマ曝露 ,  工具摩耗 ,  *研削砥石 ,  砥粒 ,  付着 ,  *プラズマ援用研磨法 ,  機械研磨 ,  砥石摩耗 ,  *ビトリファイド研削砥石 ,  *機械工作 ,  機械的性質 ,  性質
準シソーラス用語： *ビトリファイド砥石

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (2件)：

• K. Nam, et al., J. Eur. Ceram. Soc. 38 (2018) 1164.
• K. Yamamura, et al., Ann. CIRP. 60 (2011) 571.

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマ援用研磨法 ,  開発 ,  フッ素系ガス ,  プラズマ ,  援用 ,  研磨 ,  砥石