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J-GLOBAL ID：202102244994551756   整理番号：21A2925242

プラズマ援用研磨法の開発(第23報)-AlN基板の研磨における砥粒材質と研磨特性の相関-

著者 (5件)： 陶通 (大阪大 大学院工学研究科) ,  孫栄硯 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  有馬健太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2021  号： 秋季  ページ： ROMBUNNO.F103  発行年： 2021年09月08日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,熱伝導率が大きなAlN材が幅広い分野で注目されている.AlNは難加工材料であるが,高品質な表面を高能率に得るためにプラズマ援用研磨法の適用を検討した.本報では,CF₄を含むプラズマ照射により焼結AlN基板の表面を改質し,極低研磨圧力条件下で軟質砥粒と硬質砥粒を用いて改質層を除去した.研磨後の表面粗さと表面形態により,AlN基板の研磨特性を評価した.(著者抄録)

シソーラス用語： *研磨 ,  プラズマ曝露 ,  *窒化アルミニウム ,  砥粒 ,  特性 ,  熱伝導率 ,  *材料 ,  表面粗さ ,  *プラズマ援用研磨法 ,  研磨特性 ,  *難加工材料 ,  *機械工作 ,  フロン
準シソーラス用語： *AlN

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

物質索引 (1件)： 四ふっ化炭素

引用文献 (3件)：

• K. Nam, et al., J. Eur. Ceram. Soc. 38 (2018) 1164.
• M. Qin, et al., J. Eur. Ceram. Soc. 39 (2019) 952.
• K. Yamamura, et al., Ann. CIRP. 60 (2011) 571.

タイトルに関連する用語 (8件)： プラズマ援用研磨法 ,  開発 ,  AlN ,  研磨 ,  砥粒 ,  材質 ,  研磨特性 ,  相関