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J-GLOBAL ID：202102247732886744   整理番号：21A1969703

シリコン立体構造ファセット表面からの光電子分光

Photoelectron spectroscopy from facet surfaces of three-dimensional Si structures

著者 (10件)： 服部賢 (奈良先端科学技術大学院大) ,  東嵩晃 (奈良先端科学技術大学院大) ,  YANG H. (奈良先端科学技術大学院大) ,  IRMIKIMOV Aydar. (奈良先端科学技術大学院大) ,  PAMASI Liliany N. (奈良先端科学技術大学院大) ,  服部梓 (大阪大 産科研) ,  大坂藍 (大阪大 産科研) ,  田中秀和 (大阪大 産科研) ,  飯盛拓嗣 (東大 物性研) ,  小森文夫 (東大 物性研)
資料名： 日本物理学会講演概要集(CD-ROM)  (日本物理学会春季大会講演概要集(CD-ROM))
巻： 76  号： 1  ページ： ROMBUNNO.12pJ1-1  発行年： 2021年03月24日 
JST資料番号： S0671C  ISSN： 2189-079X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 立体構造化試料の精密な作製、及びその表面制御は、IOTデバイス科学技術の革新に直結する重要な課題である。我々はフォトリソグラフィ、エッチング処理などのナノ加工技術と超高真空での表面制御技術を組み合わせて、Si(111),(110),(001...【本文一部表示】

シソーラス用語： *光電子分光法 ,  *光電子スペクトル ,  *ケイ素 ,  ファセット ,  立体構造 ,  表面性状 ,  エッチング ,  フォトリソグラフィー ,  結晶方位 ,  超高真空 ,  低速電子回折 ,  ナノ構造 ,  超薄膜 ,  ナノ薄膜

分類 (1件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K)

タイトルに関連する用語 (4件)： シリコン ,  立体構造 ,  ファセット ,  光電子分光