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J-GLOBAL ID：202202210110532820   整理番号：22A2381656

大気圧プラズマによる表面処理を利用した常温接合技術の開発

著者 (5件)： 櫛川新太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  西岡柚香 (大阪大 大学院工学研究科) ,  藤大雪 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2022  ページ： 74-75  発行年： 2022年07月08日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 形状可変ミラーは圧電素子の変形により任意の形状に変形可能な光学素子であるが,圧電素子を接着剤で接着しているため,超高真空環境下の軟X線領域へ適用できない.そこで,接着剤フリーな接合法としてCARE法および大気圧プラズマを援用した原子拡散接合を提案する.本論ではプラズマ処理の効果およびその原理解明を目指し,表面処理に関与する活性種を純化できる基礎実験装置作製およびその性能を評価した結果を報告する.(著者抄録)

シソーラス用語： 研磨 ,  最適化 ,  接着 ,  *気圧 ,  金 ,  接着剤 ,  アルゴン ,  ケイ素 ,  金属薄膜 ,  *大気プラズマ ,  ロバスト性 ,  プラズマ処理 ,  原子間力顕微鏡 ,  シリコンウエハ ,  薄膜形成 ,  機械工作 ,  改変

分類 (5件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  太陽電池  (NC03084O) ,  固体デバイス材料  (NC03020K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧プラズマ ,  表面処理 ,  常温接合 ,  開発