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J-GLOBAL ID：202202218007114050   整理番号：22A1007443

非線形スペクトル変化によるシリコン導波路の内部構造モデリング手法の感度の向上

Enhancement of measurement sensitivity in an internal structure modeling method for silicon waveguides using nonlinear spectral change

著者 (4件)： 倉橋朋也 (大阪大 大学院) ,  牧野将之 ,  上川涼平 ,  小西毅
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告(Web)  (IEICE Technical Report (Web))
巻： 121  号： 386(PN2021 52-86)  ページ： 60-64 (WEB ONLY)  発行年： 2022年02月22日 
JST資料番号： U2030A  ISSN： 2432-6380  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シリコン導波路デバイスをはじめ微細加工技術を用いた光デバイスの製造評価には内部構造のモデリングが重要であり,伝搬軸に沿った構造の分布計測が必要となる.これまでに我々は,プローブ光パルスの誘引する非線形スペクトル変化を用いた非破壊な内部構造モデリング手法を提案し,シリコン導波路の構造モデリングに対する有効性を確認している.本手法を用いてシリコン導波路の内部構造モデリングを精度よく行う際には,導波路内での非線形スペクトル変化の十分な誘引が重要となる.本研究では,導波路内での非線形スペクトル変化が十分に得られない状況において,計測の感度を向上させる方法を提案し,その有効性について検討する.(著者抄録)

シソーラス用語： *非線形光学 ,  モデル ,  *光導波路 ,  *ケイ素 ,  信号伝送 ,  *光学素子 ,  オプトエレクトロニクス ,  感度 ,  性能 ,  能力 ,  シリコンフォトニクス ,  構造モデル ,  検出能
準シソーラス用語： *シリコン導波路 ,  光デバイス ,  光伝送 ,  構造モデリング ,  *非線形光学効果 ,  検出感度

分類 (2件)： 導波管,同軸線路  (NC04040N) ,  非線形光学  (BD05000T)

引用文献 (22件)：

• Heydari, Mohammad Bagher, et al, ′′Novel analytical model of anisotropic multi-layer cylindrical waveguides incorporating graphene layers.′′ Photonics and Nanostructures-Fundamentals and Applications 42 (2020): 100834.
• Wang, Yu, et al. ′′Analysis of scattering loss due to sidewall roughness in slot waveguides by variation of mode effective index.′′ Journal of Optics 20.2 (2018):025801.
• Castro, Carlos, et al. ′′Simulation and verification of a multicore fiber system.′′ 2017 19th International Conference on Transparent Optical Networks (ICTON). IEEE, 2017.
• Lyubopytov, Vladimir S., et al. ′′Modeling and optimization of vortex modes propagation in rectangular dielectric waveguides.′′ IEEE Photonics Journal 12.1 (2019): 1-17.
• Hu, Xiao, et al. ′′Design and modeling of high efficiency graphene intensity/phase modulator based on ultra-thin silicon strip waveguide.′′ Journal of Lightwave Technology 37.10 (2019): 2284-2292.

タイトルに関連する用語 (7件)： 非線形 ,  スペクトル ,  シリコン ,  導波路 ,  構造モデリング ,  手法 ,  感度