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J-GLOBAL ID：202202289180019359   整理番号：22A2384115

Si表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出~光電子検出量の脱出角依存性の検討~

著者 (4件)： 東知樹 (大阪大 大学院) ,  孫栄硯 (大阪大 大学院) ,  山村和也 (大阪大 大学院) ,  有馬健太 (大阪大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2022  号： 秋季  ページ： ROMBUNNO.B10  発行年： 2022年08月25日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,金属アシストエッチングと呼ばれるSi表面に対する新たなエッチング手法が注目されている。本研究の目的は,エッチング前後での触媒金属の組成変化を調べることである。金属アシストエッチングによりSi表面上に溝構造を形成し,角度分解X線光電子分光測定を行った。その結果,溝構造の底に埋もれた触媒金属からの光電子を検出することに成功した。(著者抄録)

シソーラス用語： ケイ素 ,  *光電子 ,  エッチング ,  *溝 ,  溝加工 ,  X線光電子分光法 ,  金属触媒 ,  金属 ,  原子 ,  角度分解分光法 ,  光電子分光法 ,  変化 ,  検出法 ,  *ARPES
準シソーラス用語： Si ,  *角度分解光電子分光法 ,  組成変化

分類 (4件)： 電子分光法  (BK01050P) ,  光電子放出  (BM09030D) ,  電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  触媒の性質一般  (CB06121R)

引用文献 (3件)：

• L.Romano et al, Nanoscale Horizons 8, 869 (2020).
• C.Chang et al, Nature Communications 10, 1038 (2014).
• L.li et al, ACS Appl. Mater. Interfaces 6, 575 (2014).

タイトルに関連する用語 (6件)： Si ,  溝底 ,  金属原子 ,  光電子 ,  脱出 ,  角依存性