文献

J-GLOBAL ID：202302283957680462   整理番号：23A2521040

RHEEDパターンの表面粗さ依存性

Correlation of surface roughness with RHEED patterns

著者 (10件)： 井田有紀 (奈良先端科学技術大学院大) ,  北川喜宏 (奈良先端科学技術大学院大) ,  JUHARNI (奈良先端科学技術大学院大) ,  清水智也 (奈良先端科学技術大学院大) ,  高橋駿太 (奈良先端科学技術大学院大) ,  大坂藍 (大阪大 産科研) ,  服部梓 (大阪大 産科研) ,  田中秀和 (大阪大 産科研) ,  桃野浩樹 (米子工高専) ,  服部賢 (奈良先端科学技術大学院大)
資料名： 日本物理学会講演概要集(CD-ROM)  (日本物理学会春季大会講演概要集(CD-ROM))
巻： 78  号： 1  ページ： ROMBUNNO.22pPSJ-9  発行年： 2023年03月23日 
JST資料番号： S0671C  ISSN： 2189-079X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 立体トランジスターなど最先端の精密微細加工材料では、表面が原子レベル(サブナノメートル)で平坦であることがデバイスの高速化、低消費電力化に向けて極めて重要な因子となっている。しかし、立体形状の任意表面の凹凸粗さ計測は難しく、例えば、原子間力...【本文一部表示】

シソーラス用語： *RHEED ,  *表面粗さ ,  配列 ,  *平坦性 ,  高配向性熱分解グラファイト ,  原子間力顕微鏡 ,  スパッタリング ,  アルゴン ,  原子配列

分類 (1件)： 固体の表面構造一般  (BK15010E)

タイトルに関連する用語 (3件)： RHEED ,  表面粗さ ,  依存性