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J-GLOBAL ID：200902045023059750   整理番号：83A0047247

オージェ定量分析の基礎 背面散乱電子効果の補正を中心にして

著者 (2件)： 一村信吾 (電総研極限技術部) ,  志水隆一 (大阪大工)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 25  号： 10  ページ： 645-659  発行年： 1982年10月 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： オージェ分光による定量分析の基礎を背面散乱補正係数の系統的理...

シソーラス用語： Augerスペクトル ,...

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分類 (3件)： その他の物理分析  (CC03014E) ,  電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  金属,合金の物理分析  (CC03040V)

引用文献 (56件)：

• 1) AESの原理・特微については数々の優れた解説があるので, それらを参照されたい.例えば,
• C. C. Chang : Surface Sci. 25 (1971) 53. P. W. Palmberg : in Electron Spectroscopy, Ed. D. A. Shirley (North-Holland, Amsterdam, 1972) 835
• 中山勝矢 : 触媒12 (1970) 137.
• 2) R. L. Gerlach and N. C. MacDonald : Scanning Electron Microscopy, 1976, Eds. O. Johari and I. Corvin (IITRI, Chicago, 1976) 200.
• 3) A. Mogami and T. Sekine : Proc. of 6th European Congr. on Electron Microscopy (Jerusalem, August, 1976) 422.

タイトルに関連する用語 (5件)： 定量分析 ,  基礎 ,  背面 ,  散乱 ,  電子効果