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J-GLOBAL ID：200902088892086458   整理番号：91A0706755

表面分析用荷電粒子検出システム

Detection System of Charged Particles for Surface Analysis.

著者 (2件)： 一村信吾 (電総研) ,  後藤敬典 (名古屋工大)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 12  号： 6  ページ： 367-374  発行年： 1991年08月 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 表面分析において必要となる電子・イオンなどの荷電粒子の検出方...

シソーラス用語： 表面分析 ,...

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分類 (2件)： 固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  その他の物理分析  (CC03014E)

引用文献 (22件)：

• 1) たとえば,村田好正:応用物理59,1657(1990).
• 2) “Low Level Measurement”, 3rd ed., Keithley Cleveland, Ohio (1984).
• 3) J. B. Johnson : Phys. Rev. 32, 97 (1928), and H. Nyquist : Phys. Rev. 32, 110 (1928).
• 4) W. Schottky : Ann. Physik. 57, 541 (1918).
• 5) たとえば,ケースレー社モデル642型.

タイトルに関連する用語 (2件)： 表面分析 ,  荷電粒子検出