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J-GLOBAL ID：200902093146509673   整理番号：92A0382199

高温超伝導体の薄膜形成法 純オゾン源によるMBE法

Preparation of superconducting films by MBE using a pure-ozone generator.

著者 (4件)： 野中秀彦 (電総研) ,  細川俊介 (電総研) ,  酒井滋樹 (電総研) ,  一村信吾 (電総研)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 61  号： 5  ページ： 512-513  発行年： 1992年05月 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 酸化物超伝導薄膜のMBE成長の酸化源として著者らが開発したオ...

シソーラス用語： MBE成長 ,...
準シソーラス用語： オゾン源

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分類 (2件)： 超伝導材料  (BM04041W) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (7件)：

• JOHNSON, B. R. Appl. Phys. Lett. 1990, 56, 1911
• HOSOKAWA, S. Rev. Sci. Instrum. 1991, 62, 1614
• ICHIMURA, S. J. Vac. Sci. & Technol. 1991, A9, 2369
• SAKAI, S. Proc. 3rd Int. Symp. Superconductivity, Sendai, 1990. 1991, 1085
• SAKAI, S. Jpn. J. Appl. Phys. 1992, 31, L399

タイトルに関連する用語 (4件)： 高温超伝導体 ,  薄膜形成 ,  オゾン ,  MBE