文献
J-GLOBAL ID：200902109187081967
整理番号：01A0325943
超熱的オゾンビームにより作成した極薄シリコン酸化膜のその場AES測定
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著者 (5件)：
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資料名：
巻：
7
号：
3
ページ：
A.20-A.21
発行年：
2000年12月07日
JST資料番号：
L3852A
ISSN：
1341-1756
CODEN：
JSANFX
資料種別：
逐次刊行物 (A)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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