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J-GLOBAL ID:200902126107555671   整理番号:99A0974358

セルフアラインプロセスを用いたダイヤモンドMISFETの作製

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巻: 60th  号:ページ: 487  発行年: 1999年09月01日 
JST資料番号: Y0055A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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