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J-GLOBAL ID：200902126461222116   整理番号：94A0963735

2源斜め蒸着法によるPt/酸化物複合膜の触媒特性

Catalytic Property of Pt/Metal Oxide Thin Films by Simultaneous Oblique Sputter-deposition.

著者 (6件)： 渡辺佳英 (豊田中研) ,  兵頭志明 (豊田中研) ,  元広友美 (豊田中研) ,  日置辰視 (豊田中研) ,  杉浦正ひろ (豊田中研) ,  野田正治 (豊田中研)
資料名： 日本化学会講演予稿集  (日本化学会春季年会講演予稿集)
巻： 67th  号： 1  ページ： 608  発行年： 1994年03月 
JST資料番号： S0493A  ISSN： 0285-7626  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 2方向からの同時斜め蒸着膜は,nmオーダーで2種類の物質が配...

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タイトルに関連する用語 (5件)： 斜め蒸着 ,  Pt ,  酸化物 ,  複合膜 ,  触媒特性