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J-GLOBAL ID：200902129413636633   整理番号：02A0278596

Cz法およびBridgman法による光リソグラフィー用超大型LiCAF単結晶育成と光学特性評価

Growth and characterization of large size LiCAF single crystals for Lithography technology.
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著者 (5件)：
佐藤浩樹

佐藤浩樹 について

(トーキン)

トーキン について

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町田博

町田博 について

(トーキン)

トーキン について

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島村清史

島村清史 について

(東北大 金材研)

東北大 金材研 について

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福田承生

福田承生 について

(東北大 金材研)

東北大 金材研 について

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猿倉信彦

猿倉信彦 について

(分子科研)

分子科研 について


資料名：
人工結晶討論会講演要旨集

人工結晶討論会講演要旨集 について


巻： 46th  ページ： 17-18  発行年： 2001年12月03日 
JST資料番号： L1397A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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F2,Ar2レー...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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リチウム化合物

リチウム化合物 について

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分類 (2件)：
分類
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酸化物の結晶成長 
(BK13050I)

酸化物の結晶成長 について

,  光物性一般 
(BM08010A)

光物性一般 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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CZ法

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Bridgman法

Bridgman法 について

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光リソグラフィー

光リソグラフィー について

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大型

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単結晶育成

単結晶育成 について

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光学特性評価

光学特性評価 について


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