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J-GLOBAL ID：200902166771536465   整理番号：96A0879151

改良リセストLOCOS(MR LOCOS)による256MDRAM対応の素子分離

Modified Recessed LOCOS (MR LOCOS) for 256Mbit DRAM and beyond.

著者 (8件)： 酒井舞子 (三菱電機 ULSI開研) ,  黒井隆 (三菱電機 ULSI開研) ,  内田哲也 (三菱電機 ULSI開研) ,  安田徹 (三菱電機 ULSI開研) ,  小森重樹 (三菱電機 ULSI開研) ,  奥村喜紀 (三菱電機 ULSI開研) ,  犬石昌秀 (三菱電機 ULSI開研) ,  三好寛和 (三菱電機 ULSI開研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 57th  号： 2  ページ： 622  発行年： 1996年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： スト ,  LOCOS ,  MR ,  素子分離