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文献
J-GLOBAL ID:200902169234582786   整理番号:01A0038288

ゲート酸化膜に導入されたチャージングダメージの光学的評価

Optical Characterization of Gate Oxide Charging Damage by Photoreflectance Spectroscopy.
著者 (4件):
資料名:
号: 35  ページ: 29-33  発行年: 2000年10月30日 
JST資料番号: S0941A  ISSN: 0287-5381  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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固体デバイス計測・試験・信頼性  ,  その他の光学的効果 
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