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J-GLOBAL ID：200902185135774407   整理番号：01A0002076

カーボン60を前駆体とした炭化ケイ素薄膜の成長過程

著者 (8件)： 須藤彰三 (東北大 大学院 理学研究科) ,  坂本一之 (東北大 大学院 理学研究科) ,  脇田高徳 (東北大 大学院 理学研究科) ,  佐藤二美 (東北大 科学計測研) ,  田中通義 (東北大 科学計測研) ,  粕壁善隆 (東北大 大学院 工学研究科) ,  HU C-W (東北大 金材研) ,  粕谷厚生 (東北大 金材研)
資料名： 超微粒子とクラスター懇談会研究会講演予稿集
巻： 4th  ページ： 109-112  発行年： 2000年05月11日 
JST資料番号： L3641A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： カーボン ,  前駆体 ,  炭化 ,  ケイ素薄膜 ,  成長過程