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J-GLOBAL ID：200902188470259729   整理番号：02A0269639

電気化学的手法によるInPポーラス構造の形成と応用

Fabrication of porous InP structure by Electrochemical Process and itsApplication.

著者 (3件)： 平野哲郎 (北大) ,  佐藤威友 (北大) ,  長谷川英機 (北大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 101  号： 617(ED2001 224-231)  ページ： 49-54  発行年： 2002年01月28日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電気化学プロセスにより形成したInPポーラス構造を微細構造形...

シソーラス用語： 電気化学反応 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電気化学 ,  手法 ,  InP ,  ポーラス構造 ,  応用