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J-GLOBAL ID:200902198785183670   整理番号:96A0793371

近接ゲッタリングと接合リーク電流

The Impact of Proximity Gettering on Junction Characteristics.
著者 (2件):
資料名:
巻: 22nd  ページ: 333-342  発行年: 1994年08月 
JST資料番号: L2116A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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