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文献
J-GLOBAL ID:200902204105920349   整理番号:08A0838721

ヘルムホルツ共鳴を利用したマイクロ超音波センサ

A Micro Ultrasonic Wave Sensor Using Helmholtz Resonance
著者 (5件):
資料名:
巻: 2008  ページ: ROMBUNNO.1P1-H08  発行年: 2008年06月05日 
JST資料番号: L0318B  ISSN: 2424-3124  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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本研究ではヘルムホルツ共鳴を利用することによってマイクロ超音波センサの感度を向上させる手法を提案する。この手法によってヘルムホルツ共鳴器をピエゾ抵抗カンチレバー型センサに組み合わせることでセンサ感度の23.8[dB]の向上,すなわちカンチレバーの振幅を15.5倍とすることに成功した。また共鳴周波数が可変であるヘルムホルツ共鳴器を利用し,共鳴周波数とカンチレバーの固有振動数との間にずれを発生させた場合のセンサ感度の振る舞いを計測する二つの実験を行った。(著者抄録)
シソーラス用語:
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分類 (3件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
音響測定  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  圧電デバイス 
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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