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文献
J-GLOBAL ID:200902209437125366   整理番号:08A0463128

架橋PTFEの集束イオンビームによる微細加工とその高機能化に関する研究

著者 (7件):
資料名:
巻: 88th  号:ページ: 687  発行年: 2008年03月12日 
JST資料番号: S0493A  ISSN: 0285-7626  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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フッ素系の樹脂であるPTFEは優れた耐熱・耐薬品性等の優れた特性から様々な産業分野への応用がなされている。近年,耐摩擦性,耐放射線性に優れた架橋PTFEが開発され,その新たな応用として微細加工品の作成を放射光(SR)と集束イオンビーム(FIB)を用いて行なってきた。そこで本研究では,微細加工品の高機能化を目的に,放射線グラフトによる機能性付与を試みた。(著者抄録)
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分類 (2件):
分類
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共重合  ,  放射線高分子化学 
物質索引 (1件):
物質索引
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