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J-GLOBAL ID：200902218704530967   整理番号：08A0376831

電子顕微鏡でできるナノ加工

著者 (1件)： 平原佳織 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 生産と技術  (季刊誌生産と技術)
巻： 60  号： 2  ページ： 34-36  発行年： 2008年04月10日 
JST資料番号： F0270A  ISSN： 0387-2211  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 透過電子顕微鏡(TEM)を用いたナノメータ加工の可能性について述べた。次の項目に従って述べた。1)透過電子顕微鏡:百聞は一見にしかず,2)ナノ科学から機械工学分野へ,3)ナノ加工技術に必要なのは,器用な「手」とよく見える「目」。

シソーラス用語： *ナノメータ加工 ,  透過型電子顕微鏡

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 電子顕微鏡 ,  ナノ加工