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J-GLOBAL ID:200902222028103705   整理番号:07A1232275

波長40~30nmにおけるワイドバンド多層膜の設計・作製

著者 (3件):
資料名:
巻: 62nd  ページ: 182-183  発行年: 2007年12月06日 
JST資料番号: L1473A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
シソーラス用語:
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分類 (2件):
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分光法と分光計一般  ,  薄膜一般 
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