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J-GLOBAL ID：200902233309794172   整理番号：08A0945061

電気化学プロセスによるInPポーラス構造の形成と縦および横方向へのエッチング制御

著者 (8件)： 佐藤威友 (北大 量集セ) ,  佐藤威友 (北大 大学院) ,  溝畑彰規 (北大 量集セ) ,  溝畑彰規 (北大 大学院) ,  吉澤直樹 (北大 量集セ) ,  吉澤直樹 (北大 大学院) ,  橋詰保 (北大 量集セ) ,  橋詰保 (北大 大学院)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 69th  号： 3  ページ： 1257  発行年： 2008年09月02日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *リン化インジウム ,  電気化学反応 ,  多孔性 ,  光電気化学 ,  *側壁 ,  *陽極溶解 ,  不均一系 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  光照射 ,  *電解エッチング ,  *多孔質体 ,  アスペクト比
準シソーラス用語： InP

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電気化学反応  (CB07050F)

タイトルに関連する用語 (7件)： 電気化学 ,  プロセス ,  InP ,  ポーラス構造 ,  縦 ,  横方向 ,  エッチング