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J-GLOBAL ID：200902235748342280   整理番号：09A0005412

サーモリフレクタンス顕微鏡による薄膜温度測定

Surface temperature measurement of thin films by thermo-reflectance microscope

著者 (3件)： 石井順太郎 (産業技術総合研) ,  清水祐公子 (産業技術総合研) ,  馬場哲也 (産業技術総合研)
資料名： Thermophysical Properties  (Thermophysical Properties)
巻： 29th  ページ： 348-350  発行年： 2008年10月08日 
JST資料番号： X0031A  ISSN： 0911-1743  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： サーモリフレクタンス法による温度モニターの基礎情報となる分光反射率の温度依存性の精密測定データを取得するとともに,ニ波長サーモリフレクタンス顕微鏡の開発を行った。温度計測の感度及び定量性を向上させるために,高感度な分光反射計を開発し,紫外から近赤外の広範囲に亘って,サーモリフレクタンススペクトルデータを取得した。ニ波長顕微鏡では,Al薄膜の細線パターンを通電加熱した試料に関して,780nm及び400nmにおいて測定を行った。測定結果が,サーモリフレクタンススペクトルデータと良く整合していることを確認した。

シソーラス用語： 顕微鏡 ,  *温度測定 ,  温度依存性 ,  測定データ ,  感度 ,  *アルミニウム ,  金属薄膜 ,  細線 ,  熱反射率 ,  半導体レーザ ,  ポンププローブ法 ,  レーザ分光法 ,  *光学顕微鏡法 ,  反射率
準シソーラス用語： *サーモリフレクタンス ,  *サーモリフレクタンス顕微鏡 ,  分光反射率

分類 (2件)： 熱物性一般  (BL05010C) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (2件)：

• ISHII, J. Proc. ATPC 2007. 2007
• SHIMIZU, Y. Jpn. J. Appl. Phys., A. 2007, 46, 5, 3117-3119

タイトルに関連する用語 (4件)： サーモリフレクタンス ,  顕微鏡 ,  薄膜 ,  温度測定