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文献
J-GLOBAL ID:200902242262273798   整理番号:05A0651505

ナノフォトニック加工(3)ナノでナノを創る:近接場光誘起自己組織的加工法

Nano photonic processing (3). Nano made with nano. Near field photoinduced self-organizing working method.
著者 (1件):
資料名:
巻: 53  号:ページ: 92-95  発行年: 2005年08月01日 
JST資料番号: F0172A  ISSN: 0452-2834  CODEN: KZAIA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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近接場光(ナノ)の特徴を積極的に生かした大面積(マクロ)一括...
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 
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