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J-GLOBAL ID：200902242974821716   整理番号：09A1270189

パルス光加熱サーモリフレクタンス法による薄膜熱物性計測技術-実用薄膜の測定と解析-

著者 (3件)： 馬場哲也 (産業技術総合研) ,  竹歳尚之 (産業技術総合研) ,  八木貴志 (産業技術総合研)
資料名： Thermophysical Properties  (Thermophysical Properties)
巻： 30th  ページ： 241-243  発行年： 2009年10月27日 
JST資料番号： X0031A  ISSN： 0911-1743  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 計測 ,  パルスレーザ照射 ,  温度伝導率 ,  *薄膜 ,  物理的性質 ,  *熱特性 ,  基板 ,  加熱 ,  温度 ,  熱反射率 ,  冷却
準シソーラス用語： レーザフラッシュ法 ,  不透明度

分類 (1件)： 薄膜一般  (BK14010X)

引用文献 (9件)：

• BABA, T. Proceedings of Workshop on Thermal Investigations of ICs and Systems (Therminic 2004), Sophia Antipolis, France, 29 September-1 October. 2004, 241-249
• TAKETOSHI, N. Observation of heat diffusion across submicrometer thin films using a picosecond thermoreflectance technique. Jpn. J. Appl. Phys. 1999, 38, L1268-L1271
• TAKETOSHI, N. Development of a thermal diffusivity measurement system for metal thin films using a picosecond thermoreflectance technique. Meas. Sci. Technol., IOP, Bristol. 2001, 12, 2064-2073
• BABA, T. Analysis of One-dimensional Heat Diffusion after Light Pulse Heating by the Response Function Method. Jpn. J. Appl. Phys. 2009, 48, 05EB04
• PADDOCK, C. A. Transient thermoreflectance from thin metal films. J. Appl. Phys., AIP, Melville. 1986, 60, 285-290

タイトルに関連する用語 (6件)： パルス光 ,  サーモリフレクタンス法 ,  薄膜 ,  熱物性 ,  計測技術 ,  解析