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J-GLOBAL ID：200902253654625821   整理番号：09A0005414

フェムト秒パルスレーザを用いた低温用薄膜熱物性測定技術の開発

Development of measurement technique for thermophysical properties of thin films at low temperature using a femtosecond pulse laser

著者 (5件)： 中村文滋 (産業技術総合研) ,  八木貴志 (産業技術総合研) ,  竹歳尚之 (産業技術総合研) ,  加藤英幸 (産業技術総合研) ,  馬場哲也 (産業技術総合研)
資料名： Thermophysical Properties  (Thermophysical Properties)
巻： 29th  ページ： 354-356  発行年： 2008年10月08日 
JST資料番号： X0031A  ISSN： 0911-1743  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フェムト秒パルスレーザを用いた,低温での金属薄膜の熱輸送現象を観測するための計測システムを開発した。装置概要,測定原理,及び測定法を述べた。この開発した装置を用いてMgO単結晶基板上のPt薄膜の低温における熱輸送現象の測定を行った。結果として,厚さ90nmのPt薄膜の低温でのサーモリフレクタンス信号の測定に成功した。サーモリフレクタンス信号の曲線形状は,ピコ秒サーモリフレクタンスのものと類似していた。この測定技術は,これまで明かにされてこなかった平均自由行程と膜厚が近接状態での,熱伝導現象の解明に役立つものと期待できる。

シソーラス用語： 物理的性質 ,  *白金 ,  金属薄膜 ,  *計測システム ,  *酸化マグネシウム ,  単結晶 ,  基板 ,  パルスレーザ照射 ,  ポンププローブ法 ,  過渡現象 ,  反射率 ,  *フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： *サーモリフレクタンス ,  *熱物性 ,  熱輸送

分類 (3件)： 熱物性一般  (BL05010C) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (5件)：

• TAKETOSHI, N. Jpn. J. Appl. Phys. 1999, 38, L1268
• TAKETOSHI, N. Rev. Sci. Instrum. 2005, 76, 094903
• TAKETOSHI, N. Means. Sci. Tehnol. 2001, 12, 2064
• KITTEL, C. Introduction to Solid State Physics. 1996
• 日本熱物性学会編. 熱物性ハンドブック. 1990

タイトルに関連する用語 (5件)： フェムト秒パルスレーザ ,  低温 ,  薄膜 ,  熱物性 ,  開発