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J-GLOBAL ID：200902257956866874   整理番号：09A0958814

微細線幅導体回路印刷方法によるITOフイルム代替材料の開発

著者 (3件)： 山下宗哲 (和歌山県工技セ) ,  前田拓也 (和歌山県工技セ) ,  橘熊野 (和歌山県工技セ)
資料名： 和歌山県工業技術センター研究報告  (Reports of Industrial Technology Center of Wakayama Prefecture)
巻： 2008  ページ： 14  発行年： 2009年09月 
JST資料番号： Z0148A  ISSN： 1340-5799  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 最近技術開発した10μm線幅の厚膜スクリーン印刷技術を用いて,ITOフィルムの代替品の作製について検討した。PETフィルム上にハードコート層と受容層を被覆した後,スクリーン印刷法で導電ペーストの細線パターンを印刷した。印刷特性や透光率,面抵抗を測定した。線高さを3~5μmに維持することで,80%以上の透光率と100Ω/aの面抵抗が得られた。

シソーラス用語： *半導体プロセス ,  パターン形成 ,  微細加工 ,  *スクリーン印刷 ,  厚膜 ,  導電性 ,  透光性 ,  プラスチックフィルム ,  細線

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  印刷  (ZA05040A)

引用文献 (1件)：

• 公開特許公報 特開2009-48163

タイトルに関連する用語 (6件)： 微細 ,  線幅 ,  導体回路 ,  ITO ,  代替材料 ,  開発