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J-GLOBAL ID:200902259257195657   整理番号:04A0692178

PhotoreflectanceによるMFIS構造の容量保持特性の非接触評価

著者 (5件):
資料名:
巻: 65th  号:ページ: 495  発行年: 2004年09月01日 
JST資料番号: Y0055A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (3件):
分類
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金属-絶縁体-半導体構造  ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  ,  その他の光学的効果 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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