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J-GLOBAL ID：200902259404039666   整理番号：09A1035297

ブラシ状のカーボンナノチューブを成長させるための基板に含まれる酸素の効果

Effect of Oxygen Included in Substrates for Growth of Brushlike Carbon Nanotubes

著者 (8件)： NAGASAKA Takeshi (Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN) ,  NAGASAKA Takeshi (Taiyo Nippon Sanso Corp., Tokyo, JPN) ,  NAGASAKA Takeshi (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SAKAI Toru (Taiyo Nippon Sanso Corp., Tokyo, JPN) ,  HIRAHARA Kaori (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  AKITA Seiji (Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN) ,  NAKAYAMA Yoshikazu (Osaka Prefecture Univ., Sakai, JPN) ,  NAKAYAMA Yoshikazu (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 48  号： 9,Issue 1  ページ： 091602.1-091602.5  発行年： 2009年09月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水によって支援される触媒化学蒸着法によってFeを基本とする触媒粒子を形成し,カーボンナノチューブ(CNT)を成長させるための基板内に含まれる酸素の効果を研究した。Fe薄膜を支える基板として,SiO₂で被覆されたSi(Si/SiO₂)および酸素を含まないSi₃N₄の被膜されたSi(Si/Si₃N₄)の二種類の基板を試験した。Si/SiO₂基板上に比べてSi/Si₃N₄基板上では,良く整列したCNTが高い成長速度で堆積することが分かった。基板を加熱することによって形成されるFeを基本とする触媒粒子の組成の違いを決定するために,X線光電子分光法(XPS)による解析を試みた。得られた結果から,触媒粒子中における鉄と酸化鉄の濃度比は,合成されたブラシ状のCNTの配列と高さに強く影響し,酸素を含まない基板において最適化されることが分かった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 基板 ,  水 ,  *カーボンナノチューブ ,  酸素 ,  *化学蒸着 ,  鉄 ,  触媒 ,  保持 ,  ケイ素 ,  二酸化ケイ素 ,  窒化ケイ素 ,  微粒子 ,  半導体
準シソーラス用語： *触媒化学蒸着 ,  含有物

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

引用文献 (17件)：

• S. Iijima: Nature 354(1991)56.
• P. Jaroenapibal, D. E. Luzzi, S. Evoy, and S. Arepalli: Appl. Phys. Lett.85(2004)4328.
• Y. Saito, S. Uemura, and K. Hamaguchi: Jpn. J. Appl. Phys.37(1998) L346.
• Y. Nakayama, H. Nishijima, S. Akita, K. I. Hohmura, S. H. Yoshimura, and K. Takeyasu: J. Vac. Sci. Technol. B 18(2000)661.
• E. T. Thostenson, Z. Ren, and T. W. Chou: Compos. Sci. Technol.61(2001)1899.

タイトルに関連する用語 (4件)： ブラシ ,  カーボンナノチューブ ,  成長 ,  酸素