ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ及び放出電子顕微鏡

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-093241
公開番号（公開出願番号）：特開2006-278069
出願日： 2005年03月28日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】ウィーンフィルタの持つ収差補正の特性を十分に生かし、アナライザで損失する電子を低減して感度の低下を抑えることができるウィーンフィルタ型アナライザの提供を目的とする。【解決手段】ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ11は、電極13とヨークレスコイル14による磁極を12極にしている。このため、ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ11は、2次収差、3次の開口収差までを消去できるような電場Eと磁場Bを発生することができるようになった。ヨークレスコイル14は、磁極をコイルのみに置き換えたものであり、コイル受け台15上に配設されている。磁極をヨークレスコイルに置き換えたことにより、ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ11は、アナライザの内径を大きくすることができ、感度を向上させることができた。また、磁性体を用いていないため、磁性体のヒステリシスを考慮しなくて良く、再現性の良い磁場を得ることができた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウィーンフィルタを用いて特定のエネルギーを持つ電子を選択するウィーンフィルタ型エネルギーアナライザにおいて、電子線の経路上に電場を形成するために真空部内に配置される複数n(nは自然数)の電極と、前記真空部内に磁場を形成するために前記真空部外の大気中に配置される複数nのヨークレスコイルとを備え、さらに前記電場と前記磁場のそれぞれのポテンシャルの双極子成分を一致させることを特徴とするウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ。

IPC (2件)：

H01J 37/05 , H01J 37/252

FI (2件)：

H01J37/05 , H01J37/252 Z

Fターム (4件)：

5C033AA02 , 5C033AA05 , 5C033RR04 , 5C033RR09

引用特許：

出願人引用 (1件)

ウィーンフィルタ及び直接写像型反射電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-044653 出願人：日本電子株式会社

審査官引用 (12件)

特開平2-114442
特開昭63-231860
特開昭63-231861

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