特許

J-GLOBAL ID：200903048535924218

レーザ誘起ブレイクダウン分光分析法

発明者： ジミン レフ グレゴリエビッチ ,  山川 烈
出願人/特許権者： 国立大学法人九州工業大学
代理人 (1件)： 内田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-325038
公開番号（公開出願番号）：特開2009-145275
出願日： 2007年12月17日
公開日（公表日）： 2009年07月02日
要約：

【課題】極微量の試料を高感度で分析することができるレーザ誘起ブレイクダウン分光分析法を提供する。【解決手段】レーザ誘起ブレイクダウン分光分析法は、レーザ発生装置から発生するパルスレーザを拡散する拡散ステップと、拡散したパルスレーザを収束して試料に照射する照射ステップを有し、または、レーザ発生装置から発生するパルスレーザを拡散する拡散ステップと、拡散したパルスレーザを一定径に保持する保持ステップと、一定径に保持したパルスレーザを収束して試料に照射する照射ステップを有する。分析法を実施する装置は、レーザ源10と、ビーム拡張光学系12と、広角口径対物レンズ光学系14を有する。ビーム拡張光学系12は、片面凹レンズ12aと片面凸レンズ12bを有し、広角口径対物レンズ光学系14は、複数の片面凹片面凸レンズ14a〜14cを有する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

パルスレーザを収束して試料に照射し、発生するプラズマを分光分析するレーザ誘起ブレイクダウン分光分析法において、 レーザ発生装置から発生するパルスレーザを拡散する拡散ステップと、拡散したパルスレーザを収束して試料に照射する照射ステップを有することを特徴とするレーザ誘起ブレイクダウン分光分析法。

IPC (1件)：

G01N 21/63

FI (1件)：

G01N21/63 A

Fターム (12件)：

2G043CA02 ,  2G043EA10 ,  2G043FA06 ,  2G043GA02 ,  2G043GB03 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043JA01 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043MA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 元素濃度測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-014702   出願人：株式会社東芝