特許
J-GLOBAL ID:200903061137901190

観察装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 上田 邦生 ,  藤田 考晴
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-119788
公開番号(公開出願番号):特開2009-270862
出願日: 2008年05月01日
公開日(公表日): 2009年11月19日
要約:
【課題】観察環境の変化にかかわらず、精度よく観察する。【解決手段】観察対象を撮影する撮影部2と、該撮影部2により取得された画像に基づいて、観察対象における位相差の分布を抽出する位相差分布抽出部3と、撮影部2により取得された画像から1以上の特徴量を抽出する特徴量抽出部5と、該特徴量抽出部5により抽出された特徴量に基づいて、位相差分布抽出部3により抽出された位相差の分布を補正する位相補正部7とを備える観察装置1を提供する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
観察対象を撮影する撮影部と、 該撮影部により取得された画像に基づいて、観察対象における位相差の分布を抽出する位相差分布抽出部と、 前記撮影部により取得された画像から1以上の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、 該特徴量抽出部により抽出された特徴量に基づいて、前記位相差分布抽出部により抽出された位相差の分布を補正する位相補正部とを備える観察装置。
IPC (3件):
G01J 9/00 ,  G02B 21/00 ,  G01B 11/06
FI (3件):
G01J9/00 ,  G02B21/00 ,  G01B11/06 H
Fターム (16件):
2F065AA30 ,  2F065BB22 ,  2F065DD11 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ42 ,  2H052AA03 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 豪国特許出願公開第2004201109号明細書

前のページに戻る