特許

J-GLOBAL ID：200903061497676376

酸化亜鉛薄膜の製造方法

発明者： 高橋 康隆 ,  大矢 豊 ,  斎木 久雄
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (1件)： 大谷 保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-063437
公開番号（公開出願番号）：特開平5-262524
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：

【要約】【目的】 均質かつ透明な酸化亜鉛薄膜を生産性よく、しかも大面積の基板上でも容易に形成しうる方法を開発すること。【構成】 イソプロピルアルコール等の低級脂肪族アルコールと亜鉛n-プロポキシド及び/又は酢酸亜鉛2水塩と、ジエタノールアミン等のエタノールアミン類とを混合して酸化亜鉛薄膜用塗布液を調製し、次いで該塗布液を基板に塗布したのち、300〜1500°C程度で熱処理することにより、酸化亜鉛薄膜を製造する。

請求項（抜粋）：

低級脂肪族アルコールと亜鉛n-プロポキシドおよび/または酢酸亜鉛2水塩とエタノールアミン類とを混合して酸化亜鉛薄膜用塗布液を調製し、次いで該塗布液を基板に塗布したのち、熱処理することを特徴とする酸化亜鉛薄膜の製造方法。