特許

J-GLOBAL ID：200903070466722549

角度検出装置

発明者： 奥村 英輔 ,  津野 克彦
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-073526
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288743
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】 本発明は宇宙航行体の中で使用するマイケルソン干渉計の走査鏡の傾き角を検出する有効な手段を提供することを目的とする。【構成】 本発明の角度検出装置は、干渉レーザ光を受光する複数の光検出器17a,17bと、各光検出器での受光強度変化から走査鏡12bの光軸に対する傾きを算出する信号処理装置18を設けている。

請求項（抜粋）：

入射光を第1及び第2の光に分岐する半透過鏡と、前記第1の光を反射させ、再び前記半透過鏡に戻す固定鏡と、前記第2の光を反射させ前記第1の光と干渉を起こすように所定の走査軸に沿ってその位置を変化させる走査鏡を具備したマイケルソン干渉計における前記走査鏡の傾きを検出する角度検出装置において、出射するレーザ光が前記マイケルソン干渉計内の光路を通るように配置されたレーザ光源と、前記マイケルソン干渉計内に入射にされ、前記半透過鏡を介して前記固定鏡で反射されたレーザ光と前記半透過鏡を介して前記走査鏡で反射されたレーザ光とが干渉し合って生じる光を検出する複数の光検出手段と、前記各光検出手段で受光する光の強度と前記レーザ光の波長から前記走査鏡の走査軸に対する傾き角を算出する傾き角算出手段とを具備したことを特徴とする角度検出装置。

IPC (3件)：

G01B 11/26 ,  G01B 9/02 ,  G01J 3/45

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭63-101133
  
• 特開昭61-287822
  

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-101133
  
• 特開昭61-287822