特許

J-GLOBAL ID：200903082605047108

電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーター

発明者： 横山 浩 ,  多辺 由佳
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-116038
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296182
出願日： 2000年04月18日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】 短時間に簡単に、しかも高精度に試料を測定することができる電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーターを提供する。【解決手段】 電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーターにおいて、試料Sからの反射光を入射させる第1の液晶リターダーR1と、この第1の液晶リターダーR1からの出力光を入射させる第2の液晶リターダーR2とを配置し、前記第1の液晶リターダーR1と第2の液晶リターダーR2にかける電圧を独立に変えて、最終光強度が最小になる値をそれぞれ求め、前記第1の液晶リターダーR1の電圧から複素反射率の虚部、前記第2の液晶リターダーR2の電圧から実部を独立に求める。

請求項（抜粋）：

電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーターにおいて、(a)試料からの反射光を入射させる第1の液晶リターダーと、(b)該第1の液晶リターダーからの出力光を入射させる第2の液晶リターダーとを配置し、(c)前記第1の液晶リターダーと第2の液晶リターダーにかける電圧を独立に変えて、最終光強度が最小になる値をそれぞれ求め、前記第1の液晶リターダーの電圧から複素反射率の虚部、前記第2の液晶リターダーの電圧から実部を独立に求めることを特徴とする電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーター。

IPC (5件)：

G01J 4/04 ,  G01N 21/21 ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/13 505 ,  G01B 11/06

FI (5件)：

G01J 4/04 A ,  G01N 21/21 Z ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/13 505 ,  G01B 11/06 Z

Fターム (31件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065CC02 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065FF49 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL33 ,  2F065LL36 ,  2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059BB10 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059KK01 ,  2H049BA06 ,  2H049BA42 ,  2H049BB03 ,  2H049BC06 ,  2H049BC23 ,  2H088EA47 ,  2H088HA16 ,  2H088HA17 ,  2H088JA11 ,  2H088MA20

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭51-129279
  
• 特開昭51-026084
  
• 物体検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-119727   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (5件)

• 特開昭51-129279
  
• 特開昭51-129279
  
• 物体検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-119727   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭51-026084
  
• 特開昭51-026084