特許

J-GLOBAL ID：200903087488353571

紫外線検出素子

発明者： 曽木 忠幸 ,  大西 久男 ,  一本松 正道 ,  平木 昭夫 ,  川原田 洋
出願人/特許権者： 大阪瓦斯株式会社
代理人 (1件)： 北村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-081749
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281029
出願日： 1992年04月03日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 基板上に成長させたダイヤモンド薄膜層を設け、ダイヤモンド薄膜層の電気抵抗を検出するための一対の電極をダイヤモンド薄膜層に備えた紫外線検出素子を、紫外線照射時(ON)と非照射時(OFF)とで出力値に比較的大きな出力差を得ることができるとともに、出力状態も安定するものとする。【構成】 一対の電極を、例えば基板8側に一方の電極を、ダイヤモンド薄膜層9の基板8とは反対側の面に他方の電極を備えるといったように、ダイヤモンド薄膜層の成長方向に合わせて形成する構成を採用する。

請求項（抜粋）：

基板(8)上に成長させたダイヤモンド薄膜層(9)を設け、前記ダイヤモンド薄膜層(9)の電気抵抗を検出するための一対の電極(4)を前記ダイヤモンド薄膜層(9)に備えた紫外線検出素子であって、前記ダイヤモンド薄膜層(9)の成長方向における異なった位置に、前記一対の電極(4)の夫々を備えた紫外線検出素子。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-269223