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J-GLOBAL ID：201002271719489156   整理番号：10A0818984

水蒸気と水の混合噴流による表面洗浄技術 物理力による表面薄膜剥離

著者 (5件)： 益子岳史 (静岡大) ,  真田俊之 (静岡大) ,  渡部正夫 (北大) ,  林田充司 (アクアサイエンス) ,  関映子 (アクアサイエンス)
資料名： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
巻： 20  号： 8  ページ： 65-69  発行年： 2010年08月10日 
JST資料番号： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 水蒸気と水の混合噴流による表面洗浄技術の洗浄装置の構成,洗浄例を紹介する。水を電気加熱することで水蒸気を発生させ,水とノズルで混合して洗浄対象物に噴射するものである。水蒸気圧力は0.1~0.2MPaの低圧で,ノズル先端と洗浄対象物の距離は10mmである。レジストウエハ上の薄膜を容易にかつ短時間で除去可能である。太陽電池製造工程において表面付着有機物を除去できる。

シソーラス用語： *噴流 ,  *水蒸気 ,  水 ,  流体流 ,  *洗浄装置 ,  噴射 ,  圧力 ,  レジスト ,  薄膜 ,  太陽電池 ,  水滴 ,  ノズル ,  発光ダイオード
準シソーラス用語： 噴射圧

分類 (1件)： その他の産業機械・機器  (QE05030S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 水蒸気 ,  水 ,  噴流 ,  表面洗浄 ,  物理 ,  膜剥離