特許
J-GLOBAL ID:201003024314500957
B-アリールボラジンの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
八田国際特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-137319
公開番号(公開出願番号):特開2010-280637
出願日: 2009年06月08日
公開日(公表日): 2010年12月16日
要約:
【課題】半導体用層間絶縁膜、バリアメタル層などの用途に有用なB-アリールボラジンの工業上有利な製造方法を提供する。【解決手段】化学式1で表されるボラジン化合物と、ハロゲン化アリールとを、パラジウム-トリアルキルホスフィン錯体などの触媒存在下で反応させて、化学式1におけるR2が水素原子の位置にアリール基を導入するB-アリールボラジンの製造方法。(式中、R1およびR2は、それぞれ独立して、水素原子または有機基であり、少なくとも1つのR2が水素原子である。)【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記化学式1:
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (11件):
4H039CA41
, 4H039CA91
, 4H039CD10
, 4H039CD20
, 4H048AA02
, 4H048BA25
, 4H048BA48
, 4H048BA92
, 4H048VA32
, 4H048VA77
, 4H048VB10
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