特許
J-GLOBAL ID：201003062531931469
X線画像検査装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (4件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 伊坪 公一
, 水谷 好男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-066584
公開番号（公開出願番号）：特開2010-217098
出願日： 2009年03月18日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：
【課題】X線吸収の少ない材質で構成される試料を、高分解能で撮影可能としたX線画像検査装置を提供する。【解決手段】X線画像検査装置100は、10keV以下のKα特性X線を発生するX線ターゲット5を有する特性X線発生器10と、ペルチエ素子22により冷却される直接入射型冷却X線CCD検出器20と、を備える。特性X線発生器10とX線CCD検出器との間に配置された試料40を回転させ、試料40を透過したX線を検出することにより撮像する。X線ターゲット5は、原子番号が20から30までの金属で形成することができる。さらにクロム、銅、ニッケル、鉄のいずれか1つを選択することができる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
10keV以下のKα特性X線を発生するX線ターゲットを有する特性X線発生器と、
直接入射型冷却X線CCD検出器と、を備え、
前記Kα特性X線発生器と前記直接入射型冷却X線CCD検出器との間に配置された試料を透過したX線を検出することにより撮像することを特徴とするX線画像検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2G001AA01
, 2G001AA09
, 2G001AA10
, 2G001BA05
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA06
, 2G001DA09
, 2G001GA06
, 2G001HA09
, 2G001HA13
, 2G001JA01
, 2G001JA08
, 2G001JA14
, 2G001LA01
, 2G001LA05
, 2G001NA03
, 2G001PA12
