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J-GLOBAL ID：201102257750059717   整理番号：11A0783873

トップダウン的手法による超微細構造の作製

著者 (4件)： 中田芳樹 (大阪大) ,  桃尾一馬 (大阪大) ,  廣本拓也 (大阪大) ,  宮永憲明 (大阪大)
資料名： 電気学会光・量子デバイス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： OQD-11  号： 1-9  ページ： 25-30  発行年： 2011年03月04日 
JST資料番号： Z0922A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文では,フェムト秒レーザーを用いたトップダウン的手法で金属薄膜の加工を行った。超短パルスレーザーを用いた加工プロセスは,非熱的加工であると見なされてきた。しかし,本実験で示されたように,特定の条件においては熱的プロセスによって流体的な挙動が誘起され,ナノウィスカーやナノウォータードロップなど,非常に微細なナノ形状が形成された。ナノウィスカーの最小頂点曲率半径は6nmに達した。このサイズはボトムアップテクノロジーで作製されるMWCNTに匹敵し,ボトムアップテクノロジーに匹敵するサイズのナノマテリアルが作製できたと言える。

シソーラス用語： *パルスレーザ ,  *レーザ加工 ,  ナノ構造 ,  *ナノメータ加工 ,  *光干渉 ,  水滴 ,  ホイスカ ,  *表面改質 ,  周期構造 ,  意思決定 ,  干渉縞 ,  *金属薄膜 ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： ナノウィスカ ,  表面修飾 ,  多重周期構造 ,  トップダウン

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (17件)：

• (1)河合知二:「ナノテクノロジー入門」,オーム社(2003)
• (2)矢部明・杉岡幸次監修:「レーザーマイクロ・ナノプロセッシング」,シーエムシー出版(2004)
• (3)次世代レーザプロセシングとその産業応用調査専門委員会編:「最新レーザプロセシングの基礎と産業応用」,電気学会(2007)
• (4) Y. Nakata, T. Hiromoto, and N. Miyanaga, “Mesoscopic nanomaterials generated by interfering femtosecond laser processing”, Appl. Phys. A 101, pp. 471-474 (2010)
• (5) Y. Nakata, T. Hiromoto, and N. Miyanaga, “Effect of target structure on interfering femtosecond laser processing”, Proc. SPIE, 7584 (2010)

タイトルに関連する用語 (4件)： トップダウン ,  手法 ,  超微細構造 ,  作製