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J-GLOBAL ID：201102281552283006   整理番号：11A0098494

簡易な非蒸発ゲッター(NEG)と金蒸着源,放射光用水冷マスクの開発

著者 (4件)： 菊地貴司 (高エ機構 物構研) ,  豊島章雄 (高エ機構 物構研) ,  田中宏和 (高エ機構 物構研) ,  間瀬一彦 (高エ機構 物構研)
資料名： 表面科学学術講演会講演要旨集  (表面科学学術講演会要旨集)
巻： 30th  ページ： 88  発行年： 2010年11月04日 
JST資料番号： L1366A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *放射光施設 ,  ビームライン ,  軟X線 ,  真空紫外線 ,  *ゲッタリング ,  超高真空 ,  *蒸着 ,  金 ,  *X線マスク ,  水冷
準シソーラス用語： *非蒸発性ゲッタ

分類 (2件)： 加速器一般及び理論  (BE02010M) ,  真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (7件)： 蒸発 ,  ゲッター ,  蒸着 ,  放射光 ,  水冷 ,  マスク ,  開発