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J-GLOBAL ID：201102288220849582   整理番号：11A0796016

高分解能反跳散乱分析法による極浅イオン注入ボロンの分析

著者 (6件)： 笹川薫 (コベルコ科研) ,  笹川薫 (京大 工) ,  牟礼祥一 (神戸製鋼所) ,  中嶋薫 (京大 工) ,  鈴木基史 (京大 工) ,  木村健二 (京大 工)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 58th  ページ： ROMBUNNO.25A-KX-8  発行年： 2011年03月09日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *放射線吸収・散乱分析 ,  *イオン注入 ,  *ホウ素 ,  *表面分析 ,  アルゴン ,  原子価
準シソーラス用語： *弾性反跳粒子検出法

分類 (1件)： その他の物理分析  (CC03014E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高分解能 ,  反跳 ,  散乱 ,  分析法 ,  イオン注入 ,  ボロン ,  分析